目的：建立电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS法）测定马来酸艾维替尼原料药中钯、砷、镉、汞、铅的残留量。方法：用微波消解进行样品前处理，采用ICP-MS以锗、铟、铋为内标进行测定，射频功率1.55kW，碰撞气为氦气，载气为氩气，载气流量0.8 L·min^-1，泵速0.3 r·s^-1，数据采集重复次数3次。结果：各待测元素线性关系良好（r>0.994 0）；钯、砷、镉、汞、铅的平均加样回收率（n=3）范围分别为100.3%～111.9%、107.5%～111.9%、98.6%～101.4.%、90.5%～97.4%、116.9%～120.1%，RSD范围分别为2.8%～5.0%、1.4%～2.0%、0.50%～1.2%、1.1%～2.0%、1.9%～2.3%；精密度（重复性）、中间精密度的RSD<5%；检测下限为0.000 5～0.035 μg·g^-1，定量下限为0.002～0.106 μg·g^-1。3批样品（批号170501、A1000001、A1000002）中的钯含量分别为0.040 8、0.160 4、0.051 5 μg·g^-1，砷、镉、汞、铅含量测定结果均低于检测下限。结论：该方法可用于马来酸艾维替尼原料药中钯、砷、镉、汞、铅残留量的测定。