目的：建立电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS法）测定消渴清颗粒的5种原料药材苍术、蒲黄、知母、黄连和地锦草中15种重金属及有害元素含量，并对测定结果进行不确定度评估。方法：采用ICP-MS（KED模式）联合微波消解法，分析测定流程，建立数学模型，根据JJF1059.1-2012《测量不确定度的评定与表示》对测量结果的各不确定度来源进行分析和评估，并计算合成不确定度。结果：实验建立的15种重金属及有害元素检测方法具有良好的线性关系，且重复性和精确度良好，线性系数均大于0.992，RSD低于5.0%，加样回收率在87%~115%之间。其不确定度主要来源于曲线拟合和微波消解过程。15种重金属及有害元素含量的合成不确定度分别为V 2.93%，Cr 4.43%，Ni 2.65%，Cu 5.70%，As 6.92%，Mo 2.02%，Ru 1.76%，Rh 2.07%，Pd 9.39%，Cd 2.75%，Os 4.72%，Ir 1.41%，Pt 7.31%，Hg 3.29%，Pb 4.28%。结论：ICP-MS法对消渴清颗粒原料药材中15种重金属及有害元素的测量中，可通过优化曲线拟合及微波消解过程从而减小不确定度的值。